EPAM的TEREPURE CMP過濾器已在台灣一家領先的晶圓代工廠成功通過鑑定和實施。

EPAM的TEREPURE CMP過濾器已在台灣一家領先的晶圓代工廠成功通過鑑定和實施。

TEREPURE CMP過濾器由EPAM研發團隊設計，由EPAM Zhunan工廠製造。

為了確保過濾器的質量能滿足客戶在半導體CMP工藝中的要求，

EPAM投資了35萬美元以上，為TEREPURE CMP建立了儀器和生產線。

過濾器設計用於去除影響品質的大顆粒，保留適當大小的工作顆粒在研磨漿料中。

實施漸層孔徑的納米纖維結構可提高顆粒的負載能力、降低壓降並延長過濾器的使用壽命。