微電子產業
EPAM—微電子產業的關鍵過濾夥伴
在半導體、面板與資料儲存產業中,微量金屬、顆粒或有機污染都可能造成製程異常與良率下降。EPAM 以高純度材料與精密濾膜技術,提供一系列高效能濾心,協助客戶維持製程穩定、降低缺陷並提升設備 OEE。
先進節點製程對流體潔淨度要求極高。EPAM 濾心能有效去除奈米級污染物,廣泛應用於 CMP、清洗、蝕刻、化學供應、超純水與氣體過濾,降低化學品消耗、減少停機時間,提升產線效率。
面板製程中,EPAM 解決 ITO、彩膜與光阻製程的污染風險,適用於 OLED、高解析與車載面板等高階應用。
資料儲存領域則確保加工液、清洗液與塗佈液達到極低污染水準,支援 HDD 與磁阻頭製程的高可靠度。
EPAM 以穩定品質與客製化能力,成為微電子產業可信賴的長期過濾夥伴。