全氟濾心再生

透過再生技術，將使用過的全氟濾心回復到新品出廠規格，重新再使用。此技術能協助客戶達成降低操作成本和減少碳排放的目的。
等級 : 1微米~2奈米
材料 : 聚四氟乙烯膜和PFA
長度 : 5 ", 10", 20 "
型式 : 濾芯式或囊式
潔淨度( 10”典型規格) : 重金屬可被萃取量 <3 ug/囊式 或 <10 ug/濾芯式
微粒釋出量≧0.2um的微粒 <1.5 顆/毫升
TOC增加值<5 ppb/囊式 或 <10 ppb/濾芯式
電阻值增加值<0.5MΩ
或依據客戶現行新品規格
應用 : SC1、SC2、SPM、H3PO4等半導體製程過濾