濾心再生服務
透過再生技術，將使用過的全氟濾心回復到新品出廠規格，重新再使用。此技術能協助客戶達成降低操作成本和減少碳排放的目的。
規格
孔徑：100 微米 ～ 2 奈米
材質：PTFE 濾膜與 PFA
長度：5”、10”、20”
型式：濾芯或囊式濾芯
潔淨度（10” 標準規格）：
金屬析出：囊式濾芯 <3 µg／濾芯型 <10 µg
微粒釋出：≥0.2 微米顆粒 <1.5 顆/ml
TOC 回復：囊式濾芯 <5 ppb／濾芯型 <10 ppb
電阻率回復：<0.5 MΩ
潔淨度亦可依客戶現行新產品規格製作
材質：PTFE 濾膜與 PFA
長度：5”、10”、20”
型式：濾芯或囊式濾芯
潔淨度（10” 標準規格）：
金屬析出：囊式濾芯 <3 µg／濾芯型 <10 µg
微粒釋出：≥0.2 微米顆粒 <1.5 顆/ml
TOC 回復：囊式濾芯 <5 ppb／濾芯型 <10 ppb
電阻率回復：<0.5 MΩ
潔淨度亦可依客戶現行新產品規格製作
優點與特點
再生濾心趨近新品規格。
完整COA確保再生品質。
降低使用成本和環境負荷。
完整COA確保再生品質。
降低使用成本和環境負荷。
應用領域
濾芯式全氟濾心再生
一體式全氟濾心再生
離子交換或純化濾心再生
SC1、SC2、SPM、H3PO4等半導體製程過濾
一體式全氟濾心再生
離子交換或純化濾心再生
SC1、SC2、SPM、H3PO4等半導體製程過濾
